SIMCO離子發(fā)生器4210

很多高科技產(chǎn)業(yè)都依賴離子產(chǎn)生器來處理由靜電所引起的控制問題 - 增加良率，降低停機(jī)時(shí)間和微控鎖定，和降低操作成本。但在微環(huán)境和制程設(shè)備內(nèi)，有時(shí)會(huì)限制離子產(chǎn)生器安裝在它們*重要的生產(chǎn)空間內(nèi)。

在制程設(shè)備內(nèi)的有限工作空間，或靠近一些敏感的部件，安裝離子產(chǎn)生器會(huì)有限制，型號(hào) 4210在線氣體離子產(chǎn)生器可電離通過的壓縮氣體來產(chǎn)生和輸出數(shù)量相同的正負(fù)離子，透過 Teflon? 管道連接，輸進(jìn)吹入到靜電敏感區(qū)，處理靜電問題。復(fù)合管道可定制，以避免設(shè)備內(nèi)的移動(dòng)部件。

當(dāng)氣源是超高潔凈時(shí)，4210u/4210un 能提供比 ISO Class3的操作潔凈度。小心選擇的材料和控制的內(nèi)部幾何結(jié)
構(gòu)，確保超高潔凈的離子輸送。

4210 離子產(chǎn)生器可應(yīng)用在不同晶圓制程上的靜電控制，如曝光機(jī)，旋干機(jī)，載入和送出機(jī)站，晶圓管理系統(tǒng)，和熱爐      管等

4210 有不同版本可選，可用 CDA 或 Nitrogen，可選超高潔凈的單晶硅針或高輸出的鎢針。